crd激光分析仪
分析仪跟踪氟化氢的加压气体
我们的老虎光学光环3高频跟踪等级氟化氢气体分析仪为用户提供了无与伦比的精度、可靠性、响应速度和易于操作的用户我们的老开云网页登录虎光学分析仪已经知道并期待。开云手机版app下载安装最新版为我们证明了腔衰荡Spectroscopy-based微量气体传感器在一个紧凑和经济分析器的设计,该多功能工具允许用户在大多数惰性气体和被动测量高频设备只有一个。用户也喜欢自由从需求周期性传感器等维护,校准,净化器替换和泵的重建。结果,我们的光环3是适合许多应用程序在高频杂质非常关键,如三氟化氮(NF)3)、六氟化硫(科幻小说6)和氟碳(CF4C2F6等)和半导体生产利用率。
树立
- 较低的个位数ppb含量检测能力
- 绝对测量(从校准气体自由)
- 宽动态范围
- 低拥有成本和操作简单
- 清洁技术所需的外部校准气体
- 紧凑的分析器足迹
检测能力
| 检测和矩阵 | 范围 | 低密度脂蛋白(3σ) | 精度(1σ)@ 0 |
|---|---|---|---|
| 在N高频2 | 0 - 5 ppm | 十亿分之0.4 | 十亿分之0.15 |
| 高频在他 | 0 - 1.3 ppm | 十亿分之0.4 | 十亿分之0.05 |
| 高频的科幻小说6 | 0 - 8 ppm | 十亿分之1.2 | 十亿分之0.4 |
| 高频在NF3 | 0 - 7.5 ppm | 十亿分之0.6 | 十亿分之0.2 |
| 高频在CF4 | 0 - 6 ppm | 十亿分之0.8 | 十亿分之0.3 |
| 高频在C语言中2F6 | 0 - 12 ppm | 十亿分之1.6 | 十亿分之0.6 |
| 高频在C语言中3F8 | 0 - 12 ppm | 十亿分之1.6 | 十亿分之0.6 |
| 高频在C语言中4F6 | 0 - 15 ppm | 15磅 | 5磅 |
| 高频在C语言中4F8 | 0 - 14 ppm | 十亿分之1.6 | 十亿分之0.6 |
规范
| 性能 | |
|---|---|
| 工作范围 | 看到检测能力表 |
| 检出限(低密度脂蛋白,3σ/ 24小时) | 看到检测能力表 |
| 精度(1σ,大) | ±0.75%或低密度脂蛋白的1/3 |
| 开云网页登录准确性(更大的) | ±4%或低密度脂蛋白 |
| 响应速度 | < 1分钟至90% |
| 环境条件 | 10°C到40°C, 30%到80% RH(不结露) |
| 储存温度 | -10°C到50°C |
| 天然气处理系统和条件 | |
| 湿材料 | 316 l不锈钢(可选耐蚀材料),10 Ra表面光洁度 |
| 气连接 | 1/4“男性录像机进口和出口 |
| 泄漏测试 | 1 x 109mbar l /秒 |
| 进口压力 | 10−125 psig(1.7−9.6巴拉) |
| 流量 | 1.8 slpm |
| 样品气体 | 大多数惰性,有毒,被动的和腐蚀性的矩阵 |
| 气体温度 | 60°C |
| 维度,H x W x D | |
| 标准传感器 | 8.73 " x 8.57 " x 23.6 " (222 mm x 218 mm x 599 mm) |
| 传感器架(适合两传感器) | 8.73 x 23.6“x 19 (222 mm x 483 mm x 599 mm) |
| 重量 | |
| 标准传感器 | 28磅(12.7公斤) |
| 电气和接口 | |
| 平台 | Max系列分析仪 |
| 报警指标 | 2用户可编程,1系统故障,继电器形式C |
| 功率要求 | 90−240休假,50/60 Hz |
| 电力消耗 | 40瓦马克斯。 |
| 信号输出 | 隔离4−20 mA /传感器 |
| 用户界面 | 5.7英寸液晶触摸屏,10/100 base - t以太网 |
| USB、rs - 232、rs - 485 Modbus TCP(可选) | |
| 数据存储 | 内部或外部闪存盘 |
| 认证 | CE标志 |
| 专利 | |
| 美国专利# 7277177 | |
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