实时解决方案空气分子污染
大气分子的检测和分析是由空气质量和气候变化的迫切的担忧。在半导体工业等高科技生产工艺,空气分子污染(AMC)构成了重大挑战。这些空气污染物不仅降低最终产品的质量,还影响制造工具的性能和寿命,导致成本的增加没有充分控制。
在半导体行业具体地说,资产管理公司可以深刻影响半导体器件的生产工艺和质量。他们有可能引入缺陷妥协的设备的性能和可靠性。此外,资产管理公司的存在会导致生产过程减少产量,导致增加生产费用。
从环境的角度来看监控AMC也是必不可少的。某些分子污染物,如果释放到大气中,对环境有不利影响。通过积极地监控这些污染物,行业可以减少环境影响和促进可持续发展的实践。
空气分子污染监测的临界延伸到各个方面,包括保持产品质量,优化流程效率,确保设备的可靠性,控制洁净室环境,保护工人的安全。通过有效识别和管理分子污染物,制造商可以实现更高的性能,减少缺陷,达到提高生产率和可靠性在他们的操作。
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移动AMC监控
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可用选项
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- 机架式AMC组合(盐酸盐酸/高频/ NH3或高频/ NH3)
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应用程序
- 半导体行业AMC监控
- 洁净室空气
- 前开口统一豆荚(foup)
- 硅晶片
- 连续监测空气质量污染其他微电子制造业
- 连续和精确测量的温室气体(GHG)监测
实时AMC大型化监控
我们的EXTREL™VeraSpec™大规模Spectromet大气压电离er (APIMS)是专为可靠的和可重复的低污染控制兆分之检测极限超高纯度(UHP)气体用于半导体和其他高科技工业应用。
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VeraSpecAPIMS通过直观分析的区别,低操作。典型VeraSpec APIMS低污染物和大部分气体检测的限制。
