光环KA马克斯·H2O
随着国际设备和系统路线图(ird)促使半导体行业超过摩尔定律并设置要求未来十年,我们交付老虎光学™光环KA马克斯™H2O ppt-level水分检测crd气体分析仪。
建立在我们的customer-acknowledged和著名的基于时间的技术,连续波腔衰荡(crd) Spectroscopy-users可以验证水分杂质水平到100年半散装气体,ppt drift-free稳定和几乎即时应对水分不适。我们的光环KA马克斯·H2O提供卓越的速度和进一步提高可用性在一个广泛的和紧凑的形式因素。分析仪快速安装,易于使用和容易维护,内置零验证。光环KA马克斯·H2散装O擅长跟踪等级水分检测气体和特种气体用于半导体制造。
光环KA马克斯·H2O,基于我们的最新平台,提供卓越的速度和进一步提高可用性在一个广泛的和紧凑的形式因素。分析仪快速安装,易于使用和容易维护,内置零验证。光环KA马克斯·H2散装O擅长跟踪等级水分检测气体和特种气体用于半导体制造。
检测和矩阵 | 范围 | 低密度脂蛋白* | 精度(1σ)@ 0 |
---|---|---|---|
H2O在N2 | 0 - 5 ppm | 100年ppt | 40 ppt |
H2O在他 | 0 - 1 ppm | 100年ppt | 10 ppt |
H2O在基于“增大化现实”技术 | 0 - 2 ppm | 100年ppt | 20 ppt |
H2在H O2 | 0 - 4 ppm | 100年ppt | 30 ppt |
H2O, O2 | 0 - 2.5 ppm | 100年ppt | 20 ppt |
H2O在清洁干燥的空气(CDA) | 0 - 4 ppm | 100年ppt | 30 ppt |
性能 | |
---|---|
工作范围 | 看到检测能力表 |
检出限(LDL) * | 看到检测能力表 |
精度(1σ,大) | ±0.75%或低密度脂蛋白的1/3 |
开云网页登录准确性(更大的) | ±4%或低密度脂蛋白 |
响应速度 | < 2分钟至95% |
环境条件 | 10°C到40°C, 30%到80% RH(不结露) |
储存温度 | -10°C到50°C |
天然气处理系统和条件 | |
气连接 | 1/4“男性录像机进口和出口 |
泄漏测试 | 1 x 109mbar l /秒 |
进口压力 | 10−125 psig(1.7−9.6巴拉) |
流量 | ∼2 slpm N2(天然气依赖) |
样品气体 | 看到检测能力表 |
气体温度 | 60°C |
维度,H x W x D | |
标准传感器 | 8.73 " x 8.57 " x 23.6 " (222 mm x 218 mm x 599 mm) |
传感器架(适合两传感器) | 8.73 " x 19.0 " x 23.6 " (222 mm x 483 mm x 599 mm) |
重量 | |
标准传感器 | 28磅(12.7公斤) |
电气和接口 | |
平台 | Max系列分析仪 |
报警指标 | 2用户可编程,1系统故障,继电器形式C |
功率要求 | 90−240休假,50/60 Hz |
电力消耗 | 40瓦马克斯。 |
信号输出 | 孤立的4−20 mA |
用户界面 | 5.7英寸液晶触摸屏,10/100 base - t以太网 |
USB、rs - 232、rs - 485 Modbus TCP(可选) | |
数据存储 | 内部或外部闪存盘 |
认证 | CE标志 |
专利 | |
美国专利# 7277177 |
*检测极限(低密度脂蛋白)被定义为3σ/ 24 H或H2O drydown极限,哪个更高
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