我马克斯高频
你可以花很长一段时间。“寻找机载分子污染物(资产管理公司)灾难性的产品性能或收益损失时发现在你的设备最终测试阶段;或者你可以部署我们的老虎光学™我马克斯™高频分析仪这些看不见的缺陷定位和监控发电机,常见潜伏在及周边设备、人员、硅片和洁净室海湾。
在今天的先进半导体加工,剩余气体,蒸汽和化学物质来自各种材料,加速处理操作,和底物储存和运输已经成为一个关键问题。以至于国际半导体技术发展路线图(也是)现在强调AMC污染作为一个关键技术挑战在实现和维持低缺陷率设备。尤其关注的主要贡献者资产管理公司的“化学污染”元素,我们我马克斯高频分析,基于我们的新的全球平台,可以检测,和持续监测高频前所未有的灵敏度、选择性、和响应速度。开云手机版app下载安装最新版
我们的手推车为资产管理公司增加了更多的灵活性,提供一个移动平台,可以迅速采取行动,不同的关键监测点(见PDF手册)。基于虎光学的新的全球平台,我马克斯高频监测空气分子污染物(AMC)提供前所未有的性能。
检测和矩阵 | 范围 | 低密度脂蛋白(3σ@100s) | 响应速度@ 20磅 |
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洁净室空气中高频 | 0 - 1 ppm | 20 ppt | < 3分钟(T10/90 + T90/10) |
性能 | |
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操作范围 | 看到检测能力表 |
检出限(低密度脂蛋白,3σ@100s) | 看到检测能力表 |
精度(1σ@100s更大) | ±0.5%或低密度脂蛋白的1/3 |
开云网页登录精度在跨 | ±4%的阅读 |
开云网页登录精度为零 | ±20 ppt |
响应速度@ 20磅) | 看到检测能力表 |
环境条件 | 10°C到40°C, 10%到90% RH(不结露) |
样本条件下 | 30%到70% RH 20°C |
20%到50% RH 25°C | |
15%到40% RH 30°C | |
储存温度 | -10°到50°C |
天然气处理系统和条件 | |
湿材料 | 优化了ppt-level资产管理公司和快速的响应速度 |
气连接 | 1/4 " PFA接头锁紧螺母®进口和出口 |
进口压力 | 大气压力__ |
出口压力 | 真空(< 10托) |
流量 | 1∼2 slpm @ atm进气压力 |
样品气体 | 洁净室空气、清洁干燥的空气(CDA)或N2 |
气体温度 | 60°C |
维 | |
标准传感器 | 8.73 " x 8.57 " x 23.6 " (222 mm x 218 mm x 599 mm) |
传感器架 | 8.73 " x 19.0 " x 23.6 " (222 mm x 483 mm x 599 mm) |
手推车 | 50 * 23 * 36”(1270 mm x 584 mm x 914 mm) |
重量 | |
标准传感器 | 33磅(15公斤) |
手推车 | 260磅(118公斤) |
(excl.真空泵) | |
电气和接口 | |
平台 | Max系列分析开云手机版app下载安装最新版 |
报警指标 | 2用户可编程,1系统故障,继电器形式C |
功率要求 | 90 - 240年休假50/60 Hz |
电力消耗 | 40瓦马克斯。每个传感器 |
信号输出 | 孤立的4 - 20毫安/传感器 |
用户界面 | 5.7英寸液晶触摸屏,10/100 base - t以太网 |
USB、rs - 232、rs - 485 Modbus TCP(可选) | |
数据存储 | 内部或外部闪存盘 |
认证 | CE标志 |
专利 | |
美国专利# 7277177 |
*真空源2 > slpm @ 10托
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