crd激光分析仪
保护你的光环QRP的过程
现代半导体沉积进程在低温外延ALD和MOCVD-operate经常室压力远低于大气和方法个位数的托。同时,过程温度不断下降。在这些条件下,残余水分室构成重大威胁的过程质量和产量。
我们的老虎光学™光环™QRP在低压室湿度监测这些低压条件下优化操作和提供准确和可靠的实时测量来验证水分残留,例如,负载锁,传输和处理室之前H2O污染物妥协后续处理步骤。基于我们证明了腔衰荡光谱法(crd)技术,光环QRP设置新标准在易用性和测量精度对于这个应用程序和运营室压力低至1托。
设计用于跟踪等级水分分析低压(< 50托)应用程序,光环QRP提供:
- 水分检测1µTorr和下面的分压
- 绝对精度和良好的精开云网页登录度
- 宽动态涉及四个数量级
- 低拥有成本和操作简单
- 清洁技术所需的外部校准气体
- 紧凑的分析器足迹,也可用OEM模块设备/系统集成
应用程序
检出限和敏感的浓度单位(磅)
检测
(矩阵独立)范围内的低密度脂蛋白(峰间)敏感性(3σ)
H2O |
0 - 12 mTorrpp |
1μTorrpp |
0.5μTorrpp |
塞兰尼™马克斯分析仪接口软件允许您从您的电脑或笔记本电脑远程访问我们的最新crd代分析仪,如光环KA马克斯,我最大。开云手机版app下载安装最新版windows软件包与分析仪通过以太网通信,允许完全控制系统可以很方便地从你的办公桌。
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