光环KA H2O
的老虎光学™光环™KA H2O是一款集所有功能于一身,具有成本效益的解决方案,打出了有力的一击。利用我们的专有腔衰荡光谱技术,您可以很容易地确定水分杂质水平低至100年氦,兆分之drift-free稳定的好处和立即响应时间。安装的系统是一个微风,和容易使用和维护其内置的零验证功能。这个分析仪是专门设计用于跟踪等级水分检测大量气体,特种气体和气体混合物,如有密切关系的(GeH4)中使用氢和其他专业混合物半导体制造业。当搭配光环OK,衡量氧气在兆分之层面,两个关键污染物可以使用基于激光检测技术无与伦比的精度。
检测和矩阵 |
范围 |
低密度脂蛋白(3σ) |
精度(1σ)@ 0 |
H2O在N2 | 0 - 20 ppm | 300年ppt | 100年ppt |
H2O在他 | 0 - 4 ppm | 100年ppt | 20 ppt |
H2O在基于“增大化现实”技术 | 0 - 9 ppm | 130年ppt | 45 ppt |
H2在H O2 | 0 - 16 ppm | 200年ppt | 70年ppt |
H2在D O2(2H2) | 0 - 14 ppm | 900年ppt | 300年ppt |
H2O, O2 | 0 - 10 ppm | 150年ppt | 50 ppt |
H2O在清洁干燥的空气(CDA) | 0 - 18 ppm | 300年ppt | 100年ppt |
H2在公司啊 | 0 - 24 ppm | 600年ppt | 200年ppt |
H2在公司啊2 | 0 - 25 ppm | 800年ppt | 300年ppt |
H2O在1% GeH4/ 99% H2 | 0 - 16 ppm | 7磅 | 十亿分之2.5 |
H2O在10% GeH4/ 90% H2 | 0 - 16 ppm | 35磅的 | 12磅 |
H2O在因为 | 0 - 23 ppm | 4磅 | 十亿分之1.4 |
H2在不啊 | 0 - 5 ppm | 100年ppt | 30 ppt |
H2在阿基米-雷克南 | 0 - 11 ppm | 160年ppt | 60 ppt |
H2O在Xe | 0 - 13 ppm | 250年ppt | 90年ppt |
H2O在Cl2 | 0 - 25 ppm (耐腐蚀 材料要求) |
650年ppt | 220年ppt |
H2在盐酸阿 | 0 - 50 ppm (耐腐蚀 材料推荐) |
1200年ppt | 400年ppt |
H2O在哈佛商业评论 | 0 - 100 ppm (耐腐蚀 材料要求) |
12磅 | 4磅 |
H2O在科幻6 | 0 - 15 ppm | 400年ppt | 140年ppt |
H2O在NF3 | 0 - 20 ppm | 600年ppt | 200年ppt |
H2O在CF4 | 0 - 15 ppm | 800年ppt | 300年ppt |
H2用C O2F6 | 0 - 15 ppm | 1200年ppt | 400年ppt |
H2用C O3F8 | 0 - 20 ppm | 1200年ppt | 400年ppt |
H2用C O4F6 | 0 - 25 ppm | 150磅的 | 50磅 |
H2用C O4F8 | 0 - 20 ppm | 1200年ppt | 400年ppt |
H2用C O5F8 | 0 - 32 ppm | 8磅 | 3磅 |
性能 | |
---|---|
工作范围 | 看到检测能力表 |
检出限(低密度脂蛋白,3σ/ 24小时) | 看到检测能力表 |
精度(1σ,大) | ±0.75%或低密度脂蛋白的1/3 |
开云网页登录准确性(更大的) | ±4%或低密度脂蛋白 |
响应速度 | < * 2分钟至95% |
环境条件 | 10°C到40°C, 30%到80% RH(不结露) |
储存温度 | -10°C到50°C |
天然气处理系统和条件 | |
湿材料 | 316 l不锈钢(可选耐蚀材料),10 Ra表面光洁度 |
气连接 | 1/4“男性录像机进口和出口 |
泄漏测试 | 1 x 109mbar l /秒 |
进口压力 | 10−125 psig(1.7−9.6巴拉) |
流量 | 0.05 - 1.8 slpm |
样品气体 | 大多数惰性,有毒,被动的和腐蚀性的矩阵 |
气体温度 | 60°C |
维度,H x W x D | |
标准传感器 | 8.73 " x 8.57 " x 23.6 " (222 mm x 218 mm x 599 mm) |
传感器架(适合两传感器) | 8.73 " x 19.0 " x 23.6 " (222 mm x 483 mm x 599 mm) |
重量 | |
标准传感器 | 28磅(12.7公斤) |
电气和接口 | |
平台 | Max系列分析仪 |
报警指标 | 2用户可编程,1系统故障,继电器形式C |
功率要求 | 90−240休假,50/60 Hz |
电力消耗 | 40瓦马克斯。 |
信号输出 | 孤立的4−20 mA |
用户界面 | 5.7英寸液晶触摸屏,10/100 base - t以太网 |
USB、rs - 232、rs - 485 Modbus TCP(可选) | |
数据存储 | 内部或外部闪存盘 |
认证 | CE标志 |
专利 | |
美国专利# 7277177 | |
*速度+激活 |
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